电子显微镜的历史及构造使用说明

    电子显微镜是依据电子光学原理，用电子束和电子双光透镜替代光线和光学镜片，使化学物质的微小构造在十分高的变大倍率下三维成像的仪器设备。

    电子显微镜的辨别工作能力以它能够辨别的邻近二点的Zui小间隔来表明。20时代70年代，电子散射式电子显微镜的屏幕分辨率约为0.3纳米技术(人的眼睛的分辨本领约为0.1mm)。如今电子显微镜Zui大变大倍数超出300千倍，而光学显微镜的Zui大变大倍数约为2000倍，因此根据电子显微镜就能立即观测到一些重金属超标的分子和结晶中排布整齐有序的分子点阵式。

    1931年，法国的克诺尔和鲁斯卡，用冷阴极充放电电子源和三个电子透镜改装了一台髙压数字示波器，并取得了变大十几倍的图像，确认了电子显微镜变大三维成像的概率。1932年，通过鲁斯卡的改善，电子显微镜的辨别工作能力超过了50纳米技术，约为那时候光学显微镜分辨本领的十倍，因此电子显微镜逐渐得到我们的高度重视。

    到了二十世纪40时代，英国的希尔用消像散器赔偿电子双光透镜的转动不可逆性，使电子显微镜的分辨本领拥有新的提升，逐渐实现了当代水准。在我国，1958年研制电子散射式电子显微镜，其分辨本领为3纳米技术，1979年又做成分辨本领为0.3纳米技术的大中型电子显微镜。

    电子显微镜的分辨本领虽已远超于光学显微镜，但电子显微镜因需要在真空泵情况下工作中，因此难以观查活的微生物，并且电子束的光照也会使微生物试品遭受辐照度损害。别的的问题，如电子枪色度和电子双光透镜品质的提升等问题也尚需再次科学研究。

    辨别工作能力是电子显微镜的主要指标值，它与通过试品的电子束出射锥度和光波长相关。由此可见光波长约为300～700纳米技术，而电子束的光波长与加快工作电压相关。当加快工作电压为50～100KV时，电子束光波长约为0.0053～0.0037纳米技术。因为电子束的光波长远远地低于由此可见光波长，因此即使电子束的锥度仅为光学显微镜的1％，电子显微镜的分辨本领仍远远地好于光学显微镜。

    电子显微镜由镜筒、超滤装置和开关电源柜三部份构成。镜筒关键有电子枪、电子双光透镜、试品架、荧光屏和拍照组织等构件，这种构件通常是由上而下地装配成一个圆柱体；超滤装置由机械设备机械泵、扩散泵和真空阀门等组成，并根据抽真空管路与镜筒相联接；开关电源柜由静电发生器、励磁电减压稳压阀器和各种各样调整操控模块构成。

    电子双光透镜是电子显微镜镜筒中Zui关键的构件，它用一个对称性于镜筒中心线的室内空间静电场或电磁场使电子运动轨迹向中心线弯折产生对焦，其功效与夹层玻璃凸透镜成像使光线对焦的效果类似，因此称之为电子双光透镜。当代电子显微镜大多数选用电磁透镜，由很平稳的直流电励磁电根据带极靴的电磁线圈造成的磁场使电子对焦。

    电子枪是由灯丝热阴极、栅压和负极组成的构件。它能发送并产生速率匀称的电子束，因此加快工作电压的稳定性规定不低于万分之一。

    电子显微镜按构造和主要用途可分成超声波式电子显微镜、扫描式电子显微镜、双光束电子显微镜和发送式电子显微镜等。电子散射式电子显微镜常见于观查这些用一般高倍显微镜所不可以辨别的微小物质结构；扫描式电子显微镜适用于观查固态表层的外貌，也可以与

    X射线衍射仪或电子能谱仪紧密结合，组成电子微探头，用以化学物质化学成分分析；发送式电子显微镜用以自发送电子表层的科学研究。